Ausschreibung: Vergabe PR1091613-2480-P
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Kurzbeschreibung(Ready Tender generiert)
Kauf eines Plasma Activation Tools (IPMS-MRS14.3) in der Menge von einem Stück für die Plasmabehandlung von Halbleiterwafern im Reinraum (Klasse 3.55o) in Dresden. Das Gerät muss spezifische technische Anforderungen erfüllen, einschließlich Handhabung von Wafern bis 300 mm und tape-befestigten Wafern mit Dicing-Frame gemäß IPMS-Spezifikation. Optionen umfassen eine erweiterte Garantie auf 24 Monate sowie zusätzliche Chucks und Handhabungsfähigkeiten für 300-mm-Wafer.
Details zur Ausschreibung(Ready Tender generiert)
Die öffentliche Ausschreibung umfasst den Kauf eines Plasma Activation Tools (IPMS-MRS14.3) in der Menge von einem Stück. Dieses Gerät dient der Plasmabehandlung von Halbleiterwafern und ist speziell für den Einsatz im Reinraum (Klasse 3.55o) am Standort Maria Reiche Straße 2, 01109 Dresden, Deutschland, vorgesehen. Die Ausschreibung wird von der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Einkauf B12, in München durchgeführt und fällt unter ein offenes EU-weites Verfahren (Vergabenummer: PR1091613-2480-P) gemäß Richtlinie 2014/24/EU. Die Beschaffung wird teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert und ist mit der CPV-Nummer 42990000-2 (sonstige Maschinen und Geräte) klassifiziert.
Zusätzlich zu der Hauptleistung werden folgende Optionen angeboten:
- Option 1 (LV Pos. 2.1): Erweiterte Garantie um weitere 12 Monate, insgesamt 24 Monate.
- Option 2 (LV Pos. 3.2): Die Fähigkeit des Tools, Wafer einer spezifizierten Größe zu handhaben.
- Option 3 (LV Pos. 3.6): Bereitstellung eines Chucks für Wafer der Größe 300 mm.
- Option 4 (LV Pos. 3.8): Handhabung von tape-befestigten Wafern mit Dicing-Frame für 300-mm-Wafer gemäß IPMS-Spezifikation.
Die detaillierten technischen Anforderungen, einschließlich Hersteller-Teilenummern, sind in den beigefügten Unterlagen (z. B. TechnicalTenderSpecification_IPMS_MRS 14.3_PlasmaActivation_PR1091613.xlsx) enthalten. Die geschätzte Laufzeit des Auftrags beträgt 12 Monate, mit Möglichkeit von Verlängerungen und Optionen.
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